Process for producing semiconductor device

WO03073498 Art A1 4. September 2003

Anmelder: FUJITSU LIMITED, TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03073498
Aktenzeichen: EP03743014
Anmeldetag: 24. Januar 2003
Veröffentlichung: 4. September 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/768H01L21/3205H01L21/3213

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: FUJITSU LIMITED
TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujitsu

Japanisches Unternehmen für Informationstechnik, das Computer, Server, Netzwerktechnik sowie IT-Dienstleistungen und Softwarelösungen entwickelt und anbietet.

8.705 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von