Method of using high yielding spectra scatterometry measurements to control semiconductor manufacturing processes, and systems for accomplishing same

WO03074995 Art A2 12. September 2003

Anmelder: ADVANCED MICRO DEVICES, INC., ADVANCED MICRO DEVICES INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03074995
Aktenzeichen: EP02807022
Anmeldetag: 17. Dezember 2002
Veröffentlichung: 12. September 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/956G01N21/95G01N21/47H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
ADVANCED MICRO DEVICES INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Advanced Micro Devices

US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.

1.708 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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