Shape measuring method, interference measuring device, porduction method for projection optical system, and porjectionj aligner

WO03076872 Art A1 18. September 2003

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03076872
Aktenzeichen: EP03708542
Anmeldetag: 11. März 2003
Veröffentlichung: 18. September 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/24G01B9/02G02B27/18G01M11/00H01L21/027G03F7/20G01J9/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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