Method for linearizing deflection of a mems device using binary electrodes and voltage modulation

WO03077286 Art A2 18. September 2003

Anmelder: Trustees of Boston University 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03077286
Aktenzeichen: EP03723695
Anmeldetag: 10. März 2003
Veröffentlichung: 18. September 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00

Offizieller Volltext

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Anmelder

Firma: Trustees of Boston University
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Trustees of Boston University

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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