Dehydration drying method and apparatus, and substrate processing apparatus

WO03077296 Art A1 18. September 2003

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03077296
Aktenzeichen: EP03743994
Anmeldetag: 5. März 2003
Veröffentlichung: 18. September 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304F26B5/04F26B5/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik

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