Light amplifying device and method of manufacturing the device, light source device using the light amplifying device, light treatment device using the light source device, and exposure device using the light source device

WO03077383 Art A1 18. September 2003

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03077383
Aktenzeichen: EP03710307
Anmeldetag: 12. März 2003
Veröffentlichung: 18. September 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/06H01S3/10H01L21/027G03F7/20A61F9/00G02F1/313

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Medizintechnik & Gesundheit Optik & Fototechnik

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