Treatment condition decision method, treatment condition decision system, treatment system, treatment condition decision calculator program, program recording medium, and semiconductor device manufacturing method

WO03078104 Art A1 25. September 2003

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03078104
Aktenzeichen: EP03710426
Anmeldetag: 19. März 2003
Veröffentlichung: 25. September 2003
Rechtsraum: WO
IPC: B24B49/10B24B37/00H01L21/304B23Q15/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

5.286 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von