An adressing method of moveable microelements in a spatial light modulator (slm) for pattering of a workpiece

WO03079091 Art A1 25. September 2003

Anmelder: MICRONIC LASER SYSTEMS AB, Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇸🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03079091
Aktenzeichen: EP03708792
Anmeldetag: 14. März 2003
Veröffentlichung: 25. September 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G02B26/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: MICRONIC LASER SYSTEMS AB
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇸🇪 Schweden

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Optik & Fototechnik

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