Maintenance management point service system, server apparatus, terminal apparatus, program, recording medium, and maintenance management point service system processing method

WO03079255 Art A1 25. September 2003

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO03079255
Aktenzeichen
EP03744530
Anmeldetag
18. März 2003
Veröffentlichung
25. September 2003
Rechtsraum
WO
IPC
G06F17/60
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TOKYO ELECTRON LIMITED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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