An Improved Substrate Holder For Plasma Processing

WO03079404 Art A2 25. September 2003

Anmelder: Tokyo Electron Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03079404
Aktenzeichen: EP03726004
Anmeldetag: 11. März 2003
Veröffentlichung: 25. September 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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