Ozone treating method and ozone treating system

WO03079426 Art A1 25. September 2003

Anmelder: SUMITOMO PRECISION PRODUCTS COMPANY LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO03079426
Aktenzeichen
EP02705309
Anmeldetag
18. März 2002
Veröffentlichung
25. September 2003
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMITOMO PRECISION PRODUCTS COMPANY LIMITED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumitomo Precision Products

Sumitomo Precision Products ist ein japanischer Hersteller von Präzisionskomponenten mit Sitz in Amagasaki, der zur Sumitomo-Unternehmensgruppe gehört und unter anderem Fahrwerke für Flugzeuge sowie Wärmetauscher fertigt. Das Patentportfolio verteilt sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente, Kühltechnik und Mess- und Prüftechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2000 bis 2025 ab.

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