Optical broad band element and process for its production

WO03081187 Art A2 2. Oktober 2003

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03081187
Aktenzeichen: EP03744863
Anmeldetag: 27. März 2003
Veröffentlichung: 2. Oktober 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G01J1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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