3-dimensional ion scattering spectroscopic method and spectroscopic device

WO03081632 Art A1 2. Oktober 2003

Anmelder: RIKEN 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03081632
Aktenzeichen: EP03712840
Anmeldetag: 24. März 2003
Veröffentlichung: 2. Oktober 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/252H01J37/244H01J49/40G01N23/20H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: RIKEN
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 RIKEN

Japanische staatliche Forschungseinrichtung mit Sitz in Wako bei Tokio, aktiv in Physik, Chemie, Biologie und Ingenieurwissenschaften mit zahlreichen Forschungszentren.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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