Method and structure for calibrating scatterometry-based metrology tool used to measure dimensions of features on a semiconductor device
WO03081662
Art A1
2. Oktober 2003
Anmelder: ADVANCED MICRO DEVICES, INC., Advanced Micro Devices, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO03081662
- Aktenzeichen
- EP02807123
- Anmeldetag
- 17. Dezember 2002
- Veröffentlichung
- 2. Oktober 2003
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/66G01R31/265
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
Advanced Micro Devices, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Advanced Micro Devices
US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.
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Vertreten von
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