Fizeau lens, interference measuring device, interference measuring method, method of manufacturing projective optical system, and projective exposure device

WO03083408 Art A1 9. Oktober 2003

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03083408
Aktenzeichen: EP03715648
Anmeldetag: 31. März 2003
Veröffentlichung: 9. Oktober 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G01B1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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