Waveguide type optical unit and method for detecting position

WO03083551 Art A1 9. Oktober 2003

Anmelder: NTT ELECTRONICS CORPORATION, NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO03083551
Aktenzeichen
EP03715588
Anmeldetag
28. März 2003
Veröffentlichung
9. Oktober 2003
Rechtsraum
WO
IPC
G02B26/08G02B26/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
NTT ELECTRONICS CORPORATION
NIKON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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