Method and device for measuring temperature of base material

WO03087744 Art A1 23. Oktober 2003

Anmelder: Ito, Masafumi, TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03087744
Aktenzeichen: EP03717597
Anmeldetag: 15. April 2003
Veröffentlichung: 23. Oktober 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G01K11/12G01J5/08H01L21/324

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Ito, Masafumi
TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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