Projection optical system, exposure system and exposure method

WO03088330 Art A1 23. Oktober 2003

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03088330
Aktenzeichen: EP03715687
Anmeldetag: 31. März 2003
Veröffentlichung: 23. Oktober 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/20G02B13/24G02B1/02G02B27/28G02B17/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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