Vertical Thermal Treatment Equipment

WO03088339 Art A1 23. Oktober 2003

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03088339
Aktenzeichen: EP02785992
Anmeldetag: 29. November 2002
Veröffentlichung: 23. Oktober 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/31H01L21/22H01L21/324C23C16/46F27B5/10F27D1/00F27D11/02B60B33/06B60B33/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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