Werkst Ckoberfl Chenbearbeitungskopf

WO03090973 Art A1 6. November 2003

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03090973
Aktenzeichen: EP03722505
Anmeldetag: 17. April 2003
Veröffentlichung: 6. November 2003
Rechtsraum: WO
IPC: B24B7/24B24B27/04B24B41/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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