Method for producing silicon single crystal and silicon single crystal wafer

WO03091484 Art A1 6. November 2003

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO03091484
Aktenzeichen
EP03725657
Anmeldetag
24. April 2003
Veröffentlichung
6. November 2003
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/06C30B15/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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