Improvement in Process Control For Etch Processes

WO03092049 Art A1 6. November 2003

Anmelder: THE BOC GROUP, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03092049
Aktenzeichen: EP03726408
Anmeldetag: 23. April 2003
Veröffentlichung: 6. November 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: THE BOC GROUP, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇬🇧 The BOC Group

The BOC Group war ein britischer Industriegasehersteller und ist heute Teil des Linde-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Energie- und Wärmetechnik, ergänzt durch anorganische Chemie und Metallurgie. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2012.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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