Halogen-resistant, anodized aluminum for use in semiconductor processing apparatus

WO03093521 Art A1 13. November 2003

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03093521
Aktenzeichen: EP03747651
Anmeldetag: 30. April 2003
Veröffentlichung: 13. November 2003
Rechtsraum: WO
IPC: C22C21/06C25D11/04C25D11/06H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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