Alignment system, alignment method and production method for semiconductor device

WO03094212 Art A1 13. November 2003

Anmelder: Sony Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03094212
Aktenzeichen: EP03717714
Anmeldetag: 24. April 2003
Veröffentlichung: 13. November 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/20G03F9/00G01R31/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sony Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sony Group

Japanischer Technologie- und Unterhaltungskonzern mit Sitz in Tokio. Sony entwickelt Unterhaltungselektronik, Bildsensoren, Spielesysteme sowie Musik- und Filmangebote.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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