Vorrichtung und Verfahren zum Elektronenstrahlaufdampfen von Reaktiv Gebildeten Schichten auf Substraten

WO03095698 Art A2 20. November 2003

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03095698
Aktenzeichen: EP03732229
Anmeldetag: 7. Mai 2003
Veröffentlichung: 20. November 2003
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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