Optisches Verfahren zum Nachweis von Verborgenen Defekten in Opaken Filmen

WO03095987 Art A1 20. November 2003

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03095987
Aktenzeichen: EP03738903
Anmeldetag: 6. Mai 2003
Veröffentlichung: 20. November 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/17G01N21/63

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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