Methods and apparatus for plasma processing control

WO03096382 Art A2 20. November 2003

Anmelder: DANA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03096382
Aktenzeichen: EP03726655
Anmeldetag: 7. Mai 2003
Veröffentlichung: 20. November 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: DANA CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Dana

Dana Incorporated (vormals Dana Corporation) ist ein US-amerikanischer Zulieferer für Antriebsstrang- und Fahrwerkstechnik mit Sitz in Maumee, Ohio. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie Fahrzeugtechnik, ergänzt um Fertigungstechnik und Antriebstechnik. Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2019.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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