Fabrication of electronic, magnetic, optical, chemical, and mechanical systems using chemical endpoint detection

WO03097902 Art A1 27. November 2003

Anmelder: The Regents of the University of California 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03097902
Aktenzeichen: EP03724469
Anmeldetag: 1. Mai 2003
Veröffentlichung: 27. November 2003
Rechtsraum: WO
IPC: C23F1/00C25F3/00C03C15/00C03C25/68B44C1/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents of the University of California
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of California

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von