Method and apparatus for determining layer thickness and composition using ellipsometric evaluation

WO03098397 Art A2 27. November 2003

Anmelder: The Regents of the University of California 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03098397
Aktenzeichen: EP03726902
Anmeldetag: 15. Mai 2003
Veröffentlichung: 27. November 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G06F1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents of the University of California
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of California

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Fachgebiete

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