Vorrichtung, System und Verfahren zur Reduktion von Waferwölbung

WO03098675 Art A1 27. November 2003

Anmelder: Intel Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03098675
Aktenzeichen: EP03726507
Anmeldetag: 28. April 2003
Veröffentlichung: 27. November 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304H01L21/00B24B7/22H01L21/302H01L21/306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Intel Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Intel

US-amerikanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kalifornien. Entwickelt und produziert Prozessoren, Chipsätze sowie weitere Halbleiterkomponenten für Computer, Server und eingebettete Systeme.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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