System for aligning wafers and for reading micro bar-codes and marks on chips using laser

WO03098683 Art A1 27. November 2003

Anmelder: CONSEJO SUPERIOR DE INVESTIGACIONES CIENTIFICAS 🇪🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO03098683
Aktenzeichen
EP03722612
Anmeldetag
9. Mai 2003
Veröffentlichung
27. November 2003
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/68G01R31/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CONSEJO SUPERIOR DE INVESTIGACIONES CIENTIFICAS
Land
🇪🇸 Spanien
🇪🇸 Consejo Superior de Investigaciones Científicas

Größte staatliche Forschungseinrichtung Spaniens mit Sitz in Madrid, tätig in nahezu allen Wissenschaftsbereichen von Naturwissenschaften bis Geisteswissenschaften. Die Institution (CSIC) betreibt zahlreiche Forschungszentren im ganzen Land.

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