Vorrichtung und Verfahren zur Überwachung von Änderungen im Prozess

WO03100404 Art A1 4. Dezember 2003

Anmelder: Applied Materials, Inc., Applied Materials Israel Ltd. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03100404
Aktenzeichen: EP03731377
Anmeldetag: 22. Mai 2003
Veröffentlichung: 4. Dezember 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/95H01L21/66G06T7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials, Inc.
Applied Materials Israel Ltd.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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