Lithographischer Apparat und Verfahren mit Energiereichen Neutralen Teilchen

WO03100816 Art A2 4. Dezember 2003

Anmelder: The University of Houston System 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03100816
Aktenzeichen: EP03734098
Anmeldetag: 19. Mai 2003
Veröffentlichung: 4. Dezember 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The University of Houston System
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Houston System

Der Anmelder ist der Universitätsverbund der University of Houston in den USA. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik und Halbleiterbauelemente sowie auf Messtechnik, organische Chemie und Pharma- und Biotechnologie. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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