Method of measuring electric characteristics of flat substrate using terahertz light

WO03102557 Art A1 11. Dezember 2003

Anmelder: NIKON CORPORATION, Tochigi Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03102557
Aktenzeichen: EP03733218
Anmeldetag: 30. Mai 2003
Veröffentlichung: 11. Dezember 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/35

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NIKON CORPORATION
Tochigi Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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