Method for forming a released microstructure suitable for a microelectromechanical device

WO03104141 Art A1 18. Dezember 2003

Anmelder: Agency for Science, Technology and Research 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03104141
Aktenzeichen: EP03757232
Anmeldetag: 10. Juni 2003
Veröffentlichung: 18. Dezember 2003
Rechtsraum: WO
IPC: B81C1/00B81B3/00H01L21/306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Agency for Science, Technology and Research
Land: 🇸🇬 Singapur

🇸🇬 Agency for Science, Technology and Research

Staatliche Forschungsorganisation Singapurs (bekannt als A*STAR), zuständig für angewandte Forschung in Biomedizin, Physik und Ingenieurwissenschaften. Fördert Technologietransfer zwischen Wissenschaft und Industrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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