Method for pattern inspection

WO03104781 Art A1 18. Dezember 2003

Anmelder: TOKYO SEIMITSU CO., LTD., Accretech (Israel) Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03104781
Aktenzeichen: EP03736140
Anmeldetag: 10. Juni 2003
Veröffentlichung: 18. Dezember 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/956H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO SEIMITSU CO., LTD.
Accretech (Israel) Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Seimitsu

Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.

290 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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