Objektiv, insbesondere Projektionsobjektiv F R die Mikrolith Ographie

WO03104897 Art A2 18. Dezember 2003

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03104897
Aktenzeichen: EP03756991
Anmeldetag: 7. Mai 2003
Veröffentlichung: 18. Dezember 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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