Herstellungsverfahren für ein Substrat mit einer Nutzschicht aus Monokristallinem Halbleitermaterial

WO03105219 Art A1 18. Dezember 2003

Anmelder: S.O.I.TEC Silicon on Insulator Technologies 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO03105219
Aktenzeichen
EP03740963
Anmeldetag
11. Juni 2003
Veröffentlichung
18. Dezember 2003
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/762H01L21/76H01L21/04H01L21/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
S.O.I.TEC Silicon on Insulator Technologies
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies

S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies war ein französischer Hersteller von Silizium-auf-Isolator-Wafern für die Halbleiterindustrie, das heutige Unternehmen firmiert als Soitec. Der Patentbestand konzentriert sich fast ausschließlich auf Halbleiterbauelemente und Waferbondverfahren.

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