Aerosol cleaning apparatus and method for control thereof

WO03107406 Art A1 24. Dezember 2003

Anmelder: SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03107406
Aktenzeichen: EP02785945
Anmeldetag: 22. November 2002
Veröffentlichung: 24. Dezember 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern mit Sitz in Tokio. Sumitomo Heavy Industries fertigt Maschinenbauprodukte, Baumaschinen, Getriebe sowie Anlagen für Umwelttechnik und Schiffbau.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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