Method of polishing organic insulating film of semiconductor integrated circuit

WO03107407 Art A1 24. Dezember 2003

Anmelder: SEIMI CHEMICAL CO., LTD., ASAHI GLASS COMPANY LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO03107407
Aktenzeichen: EP03736189
Anmeldetag: 13. Juni 2003
Veröffentlichung: 24. Dezember 2003
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: SEIMI CHEMICAL CO., LTD.
ASAHI GLASS COMPANY LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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