Kinematische Linsenhalterung mit Reduzierter Klemmkraft und Lithographie-Gerät

WO2004001478 Art A1 31. Dezember 2003

Anmelder: Nikon Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004001478
Aktenzeichen: EP03737118
Anmeldetag: 17. Juni 2003
Veröffentlichung: 31. Dezember 2003
Rechtsraum: WO
IPC: G02B7/02G02B7/185G02B7/192G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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