Einstellbare, Flexible Montagevorrichtungen in Kinematischem Halterungssystem für Verformbare Linse

WO2004001509 Art A1 31. Dezember 2003

Anmelder: Nikon Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2004001509
Aktenzeichen
EP03737120
Anmeldetag
17. Juni 2003
Veröffentlichung
31. Dezember 2003
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/20G02B7/00G02B7/185
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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