Mechanische Mehrrichtungsabtastung in einer Ionenimplantierungsvorrichtung

WO2004001789 Art A2 31. Dezember 2003

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2004001789
Aktenzeichen
EP03760813
Anmeldetag
20. Juni 2003
Veröffentlichung
31. Dezember 2003
Rechtsraum
WO
IPC
H01J37/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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