Coplanar integration of lattice-mismatched semiconductor with silicon via wafer boning virtual substrates

WO2004001810 Art A2 31. Dezember 2003

Anmelder: MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2004001810
Aktenzeichen
EP03761336
Anmeldetag
25. Juni 2003
Veröffentlichung
31. Dezember 2003
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Massachusetts Institute of Technology

US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.

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