Coplanar integration of lattice-mismatched semiconductor with silicon via wafer boning virtual substrates
WO2004001810
Art A2
31. Dezember 2003
Anmelder: MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2004001810
- Aktenzeichen
- EP03761336
- Anmeldetag
- 25. Juni 2003
- Veröffentlichung
- 31. Dezember 2003
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/00
Abstract
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Anmelder
- Firma
- MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Massachusetts Institute of Technology
US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.
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