Methode und System zur Echtzeit-Mikrolastkontrolle in Kritischen-Dimensions-Messungen
WO2004001841
Art A2
31. Dezember 2003
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2004001841
- Aktenzeichen
- EP03739212
- Anmeldetag
- 20. Juni 2003
- Veröffentlichung
- 31. Dezember 2003
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
6.825 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.