Pattern detector and its using method, measuring method and apparatus, position measuring method, exposing method and device, and method for fabricating device

WO2004003469 Art A1 8. Januar 2004

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004003469
Aktenzeichen: EP03738518
Anmeldetag: 26. Juni 2003
Veröffentlichung: 8. Januar 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/00H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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