Shearing interferometer calibrating method, production method for projection optical system, projection opticalsystem, and projection exposure system

WO2004005846 Art A1 15. Januar 2004

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004005846
Aktenzeichen: EP03741233
Anmeldetag: 7. Juli 2003
Veröffentlichung: 15. Januar 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G01B9/02H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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