Electroless plating apparatus and post-electroless plating cleaning method

WO2004006305 Art A1 15. Januar 2004

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004006305
Aktenzeichen: EP03762892
Anmeldetag: 7. Juli 2003
Veröffentlichung: 15. Januar 2004
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00C23C18/16B08B1/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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