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WO2004008068
Art A1
22. Januar 2004
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2004008068
- Aktenzeichen
- EP01275170
- Anmeldetag
- 26. Oktober 2001
- Veröffentlichung
- 22. Januar 2004
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01B11/27G01B11/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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