Projection optical system, exposure apparatus and device fabrication method

WO2004008254 Art A1 22. Januar 2004

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2004008254
Aktenzeichen: EP03764161
Anmeldetag: 10. Juli 2003
Veröffentlichung: 22. Januar 2004
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B1/02G02B5/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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